Диапазон установки толщины среза | 0,5-100 мкм |
Дискретность установки толщины среза |
0,5-5 мкм с шагом 0,5 мкм 5-20 мкм с шагом 1 мкм 20-30 мкм с шагом 2 мкм 30-60 мкм с шагом 5 мкм 60-100 мкм с шагом 10 мкм |
Диапазоны толщины обрезки (тримминга) | 1-800 мкм |
Дискретность установки толщины обрезки (тримминга) |
1-10 мкм с шагом 1 мкм 10-20 мкм с шагом 2 мкм 20-50 мкм с шагом 5 мкм 50-100 мкм с шагом 10 мкм 100-800 мкм с шагом 50 мкм |
Горизонтальная подача образца | 28 мм |
Перемещение по вертикали | 70 мм |
Размер образца максимальный | до 55х50х30 мм |
Ориентация образца по осям |
X, Y 8° Z 360° |
Грубая подача |
Электрическая, скорость 0-1800 мкм/с |
Ретракция образца | от 0 до 250 мкм |
Условия эксплуатации | +10 ¸ +40 °С, относительная влажность воздуха 20% - 80% |
Электропитание | ~240 В 50/60 Гц |
Габариты, ШхГхВ / масса (нетто, без аксессуаров) | 470x553x305 мм / 36.4 кг |