Описание

GeminiSEM является представителем сканирующих электронных микроскопов с полевой эмиссией катода (FESEM) с легендарной технологией колонны Gemini, предоставляющей возможность собирать максимум информации с наиболее обширного ряда материалов.  

GeminiSEM предназначен для легкого получения изображений в субнанометровом диапазоне разрешений с усовершенствованной эффективностью детектирования. 

Система GeminiSEM разработана для исследований, применений в промышленных лабораториях или целях легкого получения изображений. GeminiSEM сочетает проверенную технологию колонны Gemini с новым дизайном оптики для достижения лучшего разрешения во всем диапазоне ускоряющего напряжения (в том числе и при низких значениях).  

Благодаря 20-кратному увеличению сигнала Inlens-детектора становится возможным всегда получать четкие изображения в режиме быстрого сканирования с минимальным воздействием на образец.  

Новый режим VP позволит без ощутимых изменений работать в режимах низкого (до 150 Па) и высокого вакуума.

 

Технология

Линейка GeminiSEM основана на технологии Gemini, которая совершенствовалась более 20 лет. Теперь она обладает возможностью эффективнейшего детектирования с превосходным разрешением и с простотой в использовании. Улучшенный сдвоенной (электростатической и электромагнитной) объективной линзы позволяет максимизировать оптическое разрешение и минимизировать воздействие на образцы. Такая технология позволяет параллельно детектировать осевыми детекторами вторичных и обратнорассеянных электронов (Inlens SE и EsB), расположенными внутри электронной колонны на оптическом пути электронного луча с уменьшением времени на построение изображений. Система ускорения луча (Beam booster) гарантирует сочетание малого размера пятна электронного луча и высокого отношения сигнал/шум при малых значениях ускоряющего напряжения.

 

  

 

Больше детализации. Больше сигнала
Благодаря усовершенствованному дизайну электронно-оптической системы GeminiSEM позволяет получать субнанометровое разрешение при низких и ультранизких ускоряющих напряжениях с превосходной эффективностью детектирования. В то же время сигнал осевого детектора вторичных электронов (Inlens SE) усилен в 20 раз для режима низкого ускоряющего напряжения. Уменьшение разброса энергии падающего луча в режиме высокого разрешения позволяет минимизировать хроматические абберации даже при малых размерах пятна луча. В режиме последовательного торможения электронов (Tandem deceleration) тормозящее напряжение прикладывается к предметному столику, тем самым улучшается разрешение ниже 1 кВ и усиливается эффективность внутрикамерных детекторов обратнорассеянных и просвечивающих электронов (BSE и STEM). Оба данных детектора были усовершенствованы и оптимизированы для работы при низких ускоряющих напряжениях и для режима ультрабыстрого сканирования. Угловой aSTEM детектор обладает максимальной гибкостью, позволяющей использовать все режимы контрастирования, даже параллельно.

Расширенный режим VP
Технология NanoVP с давлением до 150 Па предлагает лучший способ уменьшения эффекта заряда непроводящих образцов с использованием возможностей осевых Inlens и EsB детектора. При установлении апертуры дифференциальной откачки под объективной линзой длина пробега электронов до образца и, соответственно, рассеяние луча значительно сокращается. Давление может быть расширено до 500 Па с использованием внутрикамерного VPSE детектора.

 

Технические характеристики

Характеристики		GeminiSEM 300	GeminiSEM 500
Ускоряющее напряжение		0,02-30 кВ
Разрешение		0,8 нм при 15 кВ;   1,4 нм при 1 кВ	0,6 нм при 15 кВ;   1,1 нм при 1 кВ;   0,9 нм при 1 кВ при Tandem decel;   1,2 нм при 0,5 кВ
		1,7 нм при 30 Па и 3 кВ
Ток пучка		3 пА – 20 нА (100 нА опционально)
Увеличение		12 - 2 000 000 крат	20 - 2 000 000 крат
Детекторы	базовые	Inlens SE, SE, VPSE	Inlens SE, EsB, ETD, SESI, STEM, BSD, CL
	опциональные	aSTEM 4, CL, EDS, EBSD, WDS	aSTEM 4, CL, AsB4, EDS, EBSD, WDS
Столик		5-осевой эвцентрический; X=130 мм; Y=130 мм; Z=50мм; T= от -3º до 70º;  R=360º (непрерывное)
Разрешение кадра		32 k×24 k пикс
Опциональные приспособления, функции		3DSM, шлюз 80 мм, Plasma cleaner, NanoVP (до 500 Пa), Local Charge Compensator, Local Charge Compensator and in situ Oxygen Cleaning, Tandem decel