Вакуумные насосы Edwards Vacuum производятся в Англии.Edwards является частью швейцарской компании Atlas Copco и занимает лидирующие позиции среди производителей оборудования для полупроводниковой промышленности. Сегодня в компании работает 4200 сотрудников на предприятиях более чем в 30 странах. Основная вектор развития компании - разработка инновационных продуктов в области вакуумной техники, оптимизация процессов на самых требовательных к ресурсам приложениях.
Название или модель |
Edwards STP-iXR1606 |
Производитель |
Edwards Vacuum |
Страна |
Англия |
Диапазон |
Высокого и сверхвысокого вакуума |
Частота вращения |
36500 об/мин |
Скорость откачки по азоту |
1000 л/с | 1600 л/с |
Скорость откачки по водороду |
800 л/с | 1200 л/с |
Степень сжатия по азоту |
> 107 |
Степень сжатия по водороду |
> 1 · 103 |
Предельное остаточное давление |
10-7 Па (10-9 Торр) |
Максимальное рабочее давление |
- |
Максимально возможное давление на выходе |
266 Па (2 Торр) |
Рекомендуемый форвакуумный насос |
- |
Время запуска |
< 8 мин |
Положение в пространстве |
Любое |
Входной фланец |
VG150 / ISO160F / ICF203 / VG200/VG250 / ISO200F/ISO250F / ICF253/ICF305 |
Выходной фланец |
KF40 |
Охлаждение |
- |
Допустимая температура окружающей среды |
- |
Вес |
48 кг |
Смазка подшипников |
- |