Серия MicroSys представляет бюджетную и универсальную платформу для процессов разнообразного травления и напыления на пластины или другие плоские образцы.
Хорошо зарекомендовавшие себя на рынке системы MicroSys производства компании MicroSystems были разработаны как бюджетное, но высококачественное решение для различных применений в исследовательских работах и для мелкосерийного производства. Серия MicroSys представляет бюджетную и универсальную платформу для процессов разнообразного травления и напыления на пластины или другие плоские образцы. Регулируемый размер установки, а также ряд модульных и конфигурируемых источников и держателей подложек позволяет получить индивидуальный дизайн с точки зрения расположения установки и окончательного параметра процесса. Установки MicroSys оснащены держателями для работы со стандартными пластинами 100, 125, 150 и 200 мм. Нестандартные пластины и пластины других размеров также могут обрабатываться системой по согласованию с Заказчиком, максимальная высота нестандартного образца не должна превышать 15 мм. Загрузка образцов может осуществляться вручную или через автоматический загрузочный шлюз. При ручной загрузке каждый образец загружается отдельно. Автоматический загрузочный шлюз позволяет выполнять автоматическую загрузку образцов, не нарушая рабочего вакуума.