Характеристики и описание
- Страна производительГермания
Описание
Установка для нанесения биосовместимых покрытий на 3D-подложки методом плазменно-химического осаждения из газовой фазы (PECVD) sciaBatch 350.
Установка sciaBatch 350 предназначена для однородного покрытия партии из нескольких трехмерных подложек. Основной сферой применения является нанесение биосовместимых пленок на медицинские объекты.
В установке SciaBatch 350 используется параллельное расположение ВЧ электродов с функцией вращением каждой подложки для однородного покрытия со всех сторон. Система также доступна с дополнительной функцией подачи на держатель подложки постоянного напряжения смещения.
Технические характеристики
|
Размер носителя |
2 носителя с максимальным размером 350 мм х 240 мм |
|
Держатель подложек |
Водяное охлаждение, импульсное изменение постоянного тока |
|
Источник плазмы |
Параллельное расположение ВЧ электродов; 13,56 МГц |
|
Максимальная ВЧ-мощность |
2 х 600 Вт |
|
Расположение электродов |
Температура: нагрев до 400 °C Расстояние: регулируемое от 50 до 150 мм |
|
Режимы работы |
Независимые или спаренные электроды |
|
Типичная скорость осаждения |
SiC: 5 нм/мин |
|
Базовое давление |
< 5 x 10-7 мбар |
|
Размеры системы (Ш х Г х В) |
0,90 м x 1,70 м x 2,30 м (без электрической стойки и насосов) |
|
Конфигурация системы |
1 рабочая камера с ручной загрузкой |
|
Программный интерфейс |
SECS II / GEM |
Установка для нанесения биосовместимых покрытий на 3D-подложки sciaBatch 350
Под заказ
Цену уточняйте
Минск ∙
Доставка
Оплата и гарантии