Описание:

Метод PECVD используется для подложек, требующих при обработке более низкого суммарного уровня получаемой тепловой энергии. Плазма реагирующих газов формируется в электрическом поле (DC или ВЧ) для проведения реакции и нанесения пленки при пониженной температуре.

Система PECVD разработана и изготовлена для промышленного применения. Также доступны PECVD системы EasyTube® под торговой маркой FirstNano® оборудования для исследования и разработки. EasyTube® 2000 - система PECVD с небольшой площадью основания для размеров пластин до 4" и EasyTube® 3000 для пластин до 6".

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования набора команд
• Обработка в закрытом контуре для обеспечения высокой чистоты и воспроизводимости процесса позволяет увеличить выход продукции
• Подвижный элемент печи для быстрого нагрева и охлаждения и для обеспечения надлежащей технологической атмосферы до обработки
• Консольная система загрузки для автоматической бесконтактной подачи пластин и минимальной генерации частиц
• Каскадный контроль температуры с помощью внешней (печь) и внутренней (процесс) термопары для непрерывного контроля профилей распределения температуры на месте в режиме реального времени
• Менее чем 0.5°C в плоскости температурной зоны длиной до 48"
• Независимый компьютерный контроль для каждого технологического контура
• Доступны многокамерные групповые системы

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.

Протоколы безопасности

Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.