Описание:

• Интуитивно понятный графический интерфейс управления на основе сенсорного экрана позволяют вести мониторинг техпроцесса в режиме реального времени.
• Гибкая архитектура полок-держателей предоставляет широкие возможности по ориентации различных контейнеров с изделиями по направлению плазменного потока.
• Источник питания с рабочей частотой 13,56 МГц и системой автоматического согласования обеспечивает прекрасный уровень повторяемости техпроцесса.

Система плазменной обработки AP-600 компании March Plasma Systems предназначена для¬ плазменной обработки материалов и изделий в серийном производстве при сохранении высокого качества техпроцесса, повторяемости, безопасности, простоты эксплуатации и низкой стоимости. 

AP-600 полностью автономна и требует минимального свободного пространства. Система состоит из рабочей камеры, электронной схемы управления, РЧ генератора, автоматической схемы согласования и внешнего вакуумного насоса. 

Рабочая камера изготовлена из химически неактивной нержавеющей стали с алюминиевыми оправками, что облегчает ее эксплуатационные характеристики и процесс очистки. Большое количество съемных держателей могут легко настраиваются таким образом, чтобы обеспечить оптимальное расположение изделий в камере.

Плазменная очистка, активация поверхности и адгезия

AP-600 используется для широкого ряда применений (очистка, активация, адгезия) в области микроэлектроники, производстве полупроводников, корпусировании и сборки, а также производителями медицинского оборудования. 

Система работает с большим разнообразием технологических газов, включая аргон, кислород, водород, гелий. В комплект системы включены два (2) электронных контроллера расхода газа, еще 2 доступны как дополнительная опция.

Технические характеристики системы плазменной обработки AP-600

Превосходное качество плазменной обработки и высочайший уровень автоматизации в компактном корпусе